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閉環(huán)壓電系統(tǒng)也是我們所說的在壓電執(zhí)行器內(nèi)置位置檢測傳感器，通過外部控制器對檢測位置進(jìn)行實(shí)時(shí)修正調(diào)整的壓電系統(tǒng)。

上一期中我們介紹了什么是閉環(huán)線性度以及如何計(jì)算線性度，本期我們來說說重復(fù)定位精度。

重復(fù)定位精度表示的是連續(xù)多次到達(dá)位置的偏差。到達(dá)位置的前提條件必須是相同的輸入電壓。閉環(huán)控制器會通過傳感反饋的信號調(diào)整驅(qū)動(dòng)電壓使監(jiān)測電壓與輸入電壓相同從而實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，此時(shí)多次所到位置的偏差為系統(tǒng)的重復(fù)精度。重復(fù)定位精度受系統(tǒng)預(yù)緊、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、測量系統(tǒng)的非線性等因素影響。

P76壓電物鏡定位器的重復(fù)精度

重復(fù)定位精度的測試方法

控制指令重復(fù)定位到任意位置，采用高精度測微儀準(zhǔn)確測量實(shí)際到達(dá)位置，至少連續(xù)10次以上，然后根據(jù)得到測量值計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)偏差值。

重復(fù)定位精度的重要性

在很多精密定位應(yīng)用領(lǐng)域中，重復(fù)定位精度至關(guān)重要，比如精密車削、樣品定位、3D精密檢測等，超高的重復(fù)定位精度確保了加工、定位、檢測精度。

高重復(fù)定位精度的壓電系統(tǒng)在生物制藥、生命科學(xué)、醫(yī)療診斷等領(lǐng)域同樣發(fā)揮著非常重要的作用，比如內(nèi)窺鏡三維成像、細(xì)胞三維光刻、納升配藥等。

不同壓電產(chǎn)品的重復(fù)性

重復(fù)定位精度只能在閉環(huán)控制系統(tǒng)進(jìn)行檢測。芯明天全系列壓電產(chǎn)品均可以選擇閉環(huán)版本，實(shí)現(xiàn)納米級的重復(fù)定位精度。重復(fù)定位精度的高低與所選擇配置的傳感器有關(guān)，滿行程不大于1mm的微動(dòng)壓電產(chǎn)品可選擇電阻式或電容式兩種傳感器。1mm以上大行程馬達(dá)式壓電平臺則采用的是光柵尺閉環(huán)傳感反饋。