S21 系列壓電旋轉(zhuǎn)臺為一維 θz 旋轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，旋轉(zhuǎn)角度可達(dá) 7.5mrad，承載能力達(dá) 0.1kg，可帶載鏡片等做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺，是一維 θx 偏轉(zhuǎn)臺，它是專為大負(fù)載應(yīng)用而設(shè)計(jì)，如模擬空間擾動(dòng)應(yīng)用。
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺的負(fù)載方式是側(cè)臥式，它的負(fù)載能力達(dá)7kg，100V 驅(qū)動(dòng)電壓下的偏轉(zhuǎn)角度為 0.19mrad，對應(yīng)的閉環(huán)階躍時(shí)間為 17ms。S50.U0C/K-D1 系列壓電偏擺臺S50.U0C/K-D1 系列為一維 θx 軸偏擺的壓電偏擺臺，它的承載能力可達(dá) 60kg，偏轉(zhuǎn)角度為 ±0.25mrad。它采用電容式閉環(huán)傳感器，分辨率可達(dá) 10nrad，并可在 20kg 載荷下高頻率工作。它非常適于大負(fù)載偏擺運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn)，如空間擾動(dòng)模擬等。S50.UR0C/K 系列壓電偏擺 / 旋轉(zhuǎn)臺S50.UR0C/K 系列為 θx、θz 軸偏擺 / 旋轉(zhuǎn)臺，承載能力可達(dá) 40kg，偏轉(zhuǎn)角度 ±0.25mrad?？蓭лd 20kg 負(fù)載高頻率使用。產(chǎn)品主要應(yīng)用于大負(fù)載偏擺 / 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn)，例如模擬空間擾動(dòng)實(shí)驗(yàn)等。S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺是專為大負(fù)載應(yīng)用而設(shè)計(jì)，承載可達(dá) 5kg。它的閉環(huán)版本是采用電容式反饋傳感器，空載諧振頻率可達(dá) 1kHz。S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產(chǎn)生 θx、θy 兩軸偏轉(zhuǎn)及 Z 向直線運(yùn)動(dòng)，中心具有大型通孔，適于透射光等應(yīng)用。S51 系列壓電偏擺 / 升降臺S51 系列是具有中心通孔的三維 θxθy 及 Z 軸運(yùn)動(dòng)的壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產(chǎn)生θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)及Z向直線運(yùn)動(dòng)，中心具有大型通孔，適用透射光等應(yīng)用。S54.T0S/K-B 系列壓電偏擺臺S54.T0S/K-B 系列是客戶定制版壓電偏擺臺，可實(shí)現(xiàn) θx、θy 二維偏擺運(yùn)動(dòng)。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高。結(jié)構(gòu)緊湊，搭配大中心通孔設(shè)計(jì)，易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺，可實(shí)現(xiàn) θx、θy 二維偏擺運(yùn)動(dòng)。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高。承載上限可達(dá) 8kg，適合大負(fù)載應(yīng)用。中心通孔達(dá) 200mm×200mm，適用透射光等應(yīng)用。S54.T2 系列壓電偏擺臺S54.T2 系列是具有中心通孔的二維 θxθy 軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm 中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。H60 系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)H60 系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)，是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運(yùn)動(dòng)工作臺，通過六支壓電促動(dòng)器的并聯(lián)協(xié)調(diào)伸縮實(shí)現(xiàn)空間內(nèi)六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，臺體結(jié)構(gòu)緊湊，三種規(guī)格型號可供選擇，閉環(huán)型號定位精度更高，適用于六自由度微操作、微電子精密加工、檢測等應(yīng)用。H61.XYZTR0 六軸壓電偏擺臺H61.XYZTR0 壓電偏擺臺可產(chǎn)生六軸的超精密運(yùn)動(dòng)，適用于靜態(tài)六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉(zhuǎn)，中心具有50mm×50mm 的通孔，適于透射光應(yīng)用。XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺為 θx、θy 二維偏轉(zhuǎn)的壓電偏擺臺，它的承載能力達(dá) 10kg，是專為大負(fù)載偏轉(zhuǎn)應(yīng)用而設(shè)計(jì)。XD500.T4 系列壓電偏擺臺XD500.T4 壓電偏擺臺是二維偏擺的運(yùn)動(dòng)平臺，它的承載能力可達(dá) 1kg，大型移動(dòng)臺面，適用于大型反射鏡的安裝及偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。XD502 系列壓電偏擺臺
XD502.ZT2S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產(chǎn)生 θx、θy 兩軸偏轉(zhuǎn)及 Z 向直線運(yùn)動(dòng)。它的承載能力可達(dá)5kg，閉環(huán)重復(fù)定位精度可達(dá) 0.006%F.S.，適用于各種高精度應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí)中心具有 55×55mm^2 的通孔，適用于透射光應(yīng)用。
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