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　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

　　采用無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)；

　　內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

　　內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。

　　壓電納米定位臺(tái)是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向納米級(jí)精密壓電納米定位臺(tái)，壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦、無(wú)回差的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，壓電定位臺(tái)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，壓電平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電納米定位臺(tái)具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。中空式超薄設(shè)計(jì)，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。